產(chǎn)品介紹：
名 稱：高精密勻膠機
型 號：EZ6
原產(chǎn)地：美國，USA
應 用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
產(chǎn)品概述：
EasyCoater 6勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
EZ6勻膠機設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。
性能參數(shù)：
l 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
l 速度可調(diào)范圍：100-10000rpm
l 加速度可調(diào)范圍：100-30000rpm/s
l 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm
l 轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm
l 可編程10組10步程序
l 寬電壓輸入：AC100-230V
產(chǎn)品特點：
l 100W 直流無刷電機，PLC 控制
l 5”全彩觸摸屏
l 系統(tǒng)中英文可選
l 帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能
l HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋
l 真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能
產(chǎn)品外型尺寸：
358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)
